使用CUBE系列掃描電鏡進行異常點分析
在工(gong)業生(sheng)產(chan)的過程(cheng)中，由于設備、環(huan)境等外在因素影響，可能會導致生(sheng)產(chan)出來的產(chan)品未達到出廠標準，這(zhe)時就需(xu)要檢驗人員進行檢查，找到產(chan)生(sheng)異(yi)常點(dian)的位(wei)置。異(yi)常點(dian)的尺寸(cun)通常來說都(dou)很(hen)微小，需(xu)要借助掃描電鏡來進行分(fen)析。
CUBE系列掃(sao)(sao)描(miao)電(dian)鏡可(ke)以在一(yi)個相對范圍內找到需(xu)要觀察的區域，并且通過EDS來分(fen)析該(gai)區域內的元(yuan)素，增加數(shu)據，幫助分(fen)析。下(xia)面是我們(men)使用(yong)CUBE系列掃(sao)(sao)描(miao)電(dian)鏡進行分(fen)析的兩個案例
案例一
樣本為一個金(jin)屬件，經過加工后物體(ti)表(biao)面有(you)黑色的點狀(zhuang)物質(zhi)，這會導(dao)致產品性能(neng)受限。
使用CUBE系列掃描電鏡拍攝后，從圖像中只能看出金屬件的表面確實有幾十微米級別的黑色物質，并不能判斷它的組成。所以又對該區域進行了面掃，從面掃結果中可以看出，黑色顆粒中的主要物質為碳。那么可以從中推斷該黑色顆粒應該是加工過程中，油類物質掉在金屬件上，從而導致的產品缺陷。
案例(li)二
在(zai)工廠(chang)生產(chan)加工器(qi)件的過(guo)程(cheng)中，會出現有碎(sui)屑掉落(luo)的情(qing)況。碎(sui)屑的尺寸較小，通常(chang)無法(fa)用常(chang)規光學顯微鏡判斷(duan)，這時我(wo)們(men)需(xu)要借(jie)助SEM來進行分(fen)析。
從圖像(xiang)中(zhong)可以看(kan)出，碎屑的尺寸均小于(yu)1mm。
放大后(hou)再使用面掃進行元(yuan)素(su)分析。從面掃結果中，可以看出碎屑的元(yuan)素(su)主要有錳、鐵、碳和氧等多種(zhong)元(yuan)素(su)。用戶根據鐵和錳的比例可以判斷碎屑的來源。
