鎢燈絲掃描電鏡使用時的注意事項

如(ru)何制取樣品(pin)？

首先(xian)看樣(yang)品(pin)是(shi)否導電，如(ru)果(guo)導電的話，要(yao)(yao)正確(que)的取材，然(ran)后(hou)清(qing)(qing)潔(jie)樣(yang)品(pin)表(biao)面(mian)(mian)，將樣(yang)品(pin)固定好，進行腐(fu)蝕、電解拋光等(deng)處理(li)，然(ran)后(hou)在(zai)(zai)高(gao)真空下觀(guan)察(cha)；如(ru)果(guo)樣(yang)品(pin)不(bu)導電，要(yao)(yao)看它是(shi)否可以噴(pen)金(jin)，可以噴(pen)金(jin)的樣(yang)品(pin)，當正確(que)取材、清(qing)(qing)潔(jie)表(biao)面(mian)(mian)后(hou)，再對其進行噴(pen)完金(jin)處理(li)，然(ran)后(hou)按照上面(mian)(mian)所述的步驟(zou)進行，如(ru)果(guo)不(bu)可以噴(pen)金(jin)，正確(que)選材、清(qing)(qing)潔(jie)表(biao)面(mian)(mian)、固定樣(yang)品(pin)后(hou)，要(yao)(yao)在(zai)(zai)低(di)真空下觀(guan)察(cha)。

掃描電鏡測試對樣品的基本要求是？

能(neng)提供導(dao)電和導(dao)熱通(tong)道，不(bu)會被電子(zi)束分解

在(zai)電(dian)子(zi)束掃描下具(ju)有良(liang)好的熱(re)穩定性，不能揮發或含(han)有水(shui)分

樣(yang)品大小與厚(hou)度要適于(yu)樣(yang)品臺的尺寸

樣品表面應該清潔(jie)，無污染物

磁(ci)性(xing)樣品要預先去除磁(ci)性(xing)

影響鎢燈絲掃描(miao)電鏡分辨率的(de)因(yin)素？

1，電(dian)子束的(de)實際直徑(jing)(jing)；電(dian)子束的(de)直徑(jing)(jing)減小(xiao)，分(fen)辨率提(ti)高，但是(shi)實際直徑(jing)(jing)小(xiao)到(dao)一(yi)定(ding)程(cheng)度時(shi)，很難激發出(chu)足夠的(de)信號(hao)。所以(yi)理想(xiang)的(de)電(dian)子束需要尺寸小(xiao)而(er)且(qie)束流大。

2，電(dian)子(zi)(zi)束在試樣中的散射(she)；電(dian)子(zi)(zi)束進入試樣后，受到試樣對(dui)電(dian)子(zi)(zi)的散射(she)，從而電(dian)子(zi)(zi)束直(zhi)徑變寬，降低了分辨率，這種散射(she)效應取決于加速電(dian)壓的大(da)小(xiao)和試樣本身的性質。

3，信號噪(zao)(zao)聲(sheng)(sheng)比。噪(zao)(zao)聲(sheng)(sheng)來(lai)源于兩個方面(mian)：點噪(zao)(zao)聲(sheng)(sheng)、統計(ji)漲落噪(zao)(zao)聲(sheng)(sheng)。提(ti)高(gao)信噪(zao)(zao)比可以：

①提高信號電(dian)流，②采用長(chang)(chang)的(de)(de)幀(zhen)掃(sao)描(miao)時間，③減少(shao)像元數(shu)目，但是會降低圖像的(de)(de)清(qing)晰度(du)。故提高信噪比的(de)(de)有效途(tu)徑是提高電(dian)子束的(de)(de)亮度(du)或(huo)適當延長(chang)(chang)幀(zhen)掃(sao)描(miao)的(de)(de)時間。

工作電壓(ya)、工作距離、束斑(ban)尺寸各自對掃描電鏡的成像質(zhi)量和分辨率(lv)有(you)什么影響？

工作電壓(ya)給電子槍提供高(gao)壓(ya)從而產生電子源，電壓(ya)越高(gao)，分辨率越高(gao)

工作距離樣品和物鏡之間的距離，縮短工作距離可以提高圖像分辨率；（樣本表層到末級聚光鏡(通常我們叫他物鏡，但不準確)的極靴的距離）

因為一般(ban)來說，束(shu)斑(ban)(ban)小的(de)(de)(de)(de)分辨(bian)率高。但束(shu)斑(ban)(ban)小相應的(de)(de)(de)(de)束(shu)流也小，轉(zhuan)化為成像信(xin)(xin)號的(de)(de)(de)(de)電(dian)子(zi)也少(shao)，而統計噪(zao)音是固(gu)定(ding)的(de)(de)(de)(de)。當(dang)信(xin)(xin)號值(zhi)低于噪(zao)音的(de)(de)(de)(de)3倍時(shi)，將無法(fa)識(shi)別信(xin)(xin)號代表的(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)息。信(xin)(xin)噪(zao)比是限制(zhi)成像分辨(bian)率的(de)(de)(de)(de)一個重要基本因素。相同的(de)(de)(de)(de)掃(sao)描區域(yu)，小束(shu)斑(ban)(ban)漏掃(sao)地(di)方太多，所以邊緣不平滑。

泄(xie)真空時，為什(shen)么要關閉高壓（HV）后，等待一定時間后再卸(xie)真空？

鎢燈(deng)絲一般處(chu)于2700K的高壓(ya)，當關閉高壓(ya)時，燈(deng)絲依舊(jiu)還很(hen)熱，如果此時泄真空的話(hua)(hua)，會氧(yang)化燈(deng)絲，嚴(yan)重(zhong)的話(hua)(hua)，會使(shi)燈(deng)絲壞掉；時間長了，也會影(ying)(ying)響(xiang)整個鏡筒(tong)的狀態，整個鏡筒(tong)會產(chan)生氧(yang)化膜(mo)，影(ying)(ying)響(xiang)分(fen)辨(bian)率。