VERITAS鎢燈絲掃描電鏡系列
VERITAS系列掃描(miao)電(dian)鏡秉承EM科特(EmCrafts)電(dian)子顯微技術高分辨高效(xiao)率(lv)的性能,內置CCD攝像機和導航功能可(ke)幫助用戶輕松(song)地找到理想區域。
VERITAS系(xi)列掃描電鏡擁(yong)有大樣品倉室,內含(han)5軸多功能電(dian)動樣品臺,可(ke)輕松測量大尺寸的樣品。并且VERITAS系列的樣(yang)(yang)品倉可(ke)同時安裝了多個樣(yang)(yang)本,減少樣(yang)(yang)品來回放置(zhi)時因抽真空所使用的時間,從而達到快速分析測(ce)樣(yang)(yang)的目的,有效(xiao)地提高檢測(ce)速度。
EM科(ke)特(te)(EmCrafts)VERITAS系列(lie)產品(pin)技(ji)術亮點:
l大尺寸(cun)樣(yang)品分析 VERITAS系列可(ke)以分析常(chang)規SEM無法分析的(de)大尺寸樣品(pin)。例(li)如:晶圓、磁盤
l無損樣品分析 無需切割(ge)即(ji)可分析(xi)樣品。例如PCB、半導(dao)體圖案分析(xi)
l較重樣品分析 能夠分析重達2kg的樣品(pin)。例如巖石、鐵礦石
l快(kuai)速樣品分析 同時進行(xing)多個樣(yang)品的(de)分析,大大提高工作(zuo)效率,節約成本(ben)
技術(shu)指標:
分(fen)辨率 | 2nm |
放大(da)倍數(shu) | x10-x300000 |
電子槍 | LaB6/CeB6 |
探測器(qi) | 二次電子探(tan)測器、背散射探(tan)測器 |
真空系統 | 全自動真空系統(<90s) |
顯示模式 | 聚焦模式 預覽模式 |
自動功(gong)能 | 聚焦 |