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VERITAS鎢燈絲掃描電鏡系列

發布時間:2020/04/08
VERITAS鎢燈絲掃描電鏡系列

VERITAS系列掃描(miao)電(dian)鏡秉承EM科特(EmCrafts)電(dian)子顯微技術高分辨高效(xiao)率(lv)的性能,內置CCD攝像機和導航功能可(ke)幫助用戶輕松(song)地找到理想區域。

 

VERITAS系(xi)列掃描電鏡擁(yong)有大樣品倉室,內含(han)5軸多功能電(dian)動樣品臺,可(ke)輕松測量大尺寸的樣品。并且VERITAS系列的樣(yang)(yang)品倉可(ke)同時安裝了多個樣(yang)(yang)本,減少樣(yang)(yang)品來回放置(zhi)時因抽真空所使用的時間,從而達到快速分析測(ce)樣(yang)(yang)的目的,有效(xiao)地提高檢測(ce)速度。

     

EM科(ke)特(te)(EmCraftsVERITAS系列(lie)產品(pin)技(ji)術亮點:


l大尺寸(cun)樣(yang)品分析  VERITAS系列可(ke)以分析常(chang)規SEM無法分析的(de)大尺寸樣品(pin)。例(li)如:晶圓、磁盤


l無損樣品分析   無需切割(ge)即(ji)可分析(xi)樣品。例如PCB、半導(dao)體圖案分析(xi)


l較重樣品分析   能夠分析重達2kg的樣品(pin)。例如巖石、鐵礦石 


l快(kuai)速樣品分析   同時進行(xing)多個樣(yang)品的(de)分析,大大提高工作(zuo)效率,節約成本(ben)

 



技術(shu)指標:

分(fen)辨率

2nm

放大(da)倍數(shu)

x10-x300000

電子槍

LaB6/CeB6

探測器(qi)

二次電子探(tan)測器、背散射探(tan)測器

真空系統

全自動真空系統(<90s)
渦輪分子泵
旋轉葉片泵
電動閥系統

顯示模式

聚焦模式 預覽模式
慢掃模式 成像模式

自動功(gong)能

聚焦
亮度/對比度
物鏡光闌搖擺對重
電子槍對重、偏壓、飽和